@inproceedings{inproceedings83a960d7,
title   = {Estudo do mecanismo de crescimento de SiMc:H em função da espessura das películas e do tipo de substrato},
author = {Dirani, Ely Antonio Tadeu and Andrade, Adnei Melges de},
year = {1992},
publisher = {SBMICRO/EPUSP},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica}
}