@mastersthesis{mastersthesis7d6f837f,
title   = {Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por plasma acoplado indutivamente},
author = {Zambom, Luís da Silva and Furlan, Rogério and Mansano, Ronaldo Domingues},
year = {2000},
school = {Universidade de São Paulo}
}