@article{articlef0c7bd6c, title = {Contribuição ao estudo da morfologia da superfície e da interface do siliceto de titânio formado sobre Si(100) empregando a técnica de microscopia de força atômica (AFM)}, author = {Hasan, Nasser Mahmoud and Laganá, Armando Antonio Maria and Santos Filho, Sebastião Gomes dos}, year = {1998}, journal = {Boletim Técnico da Escola Politécnica da USP. Departamento de Engenharia Eletrônica} }