@article{article57af9a66,
title   = {Deep trench etching in silicon with fluorine containing plasmas},
author = {Mansano, Ronaldo Domingues and Verdonck, Patrick Bernard and Maciel, Homero Santiago},
year = {1998},
journal   = {Boletim Técnico da Escola Politécnica da USP. Departamento de Engenharia Eletrônica}
}