@inproceedings{inproceedingse7cd6de3, title = {Análise do perfil gerado por ataque químico úmido em filme de GaAs, crescido sobre várias orientações}, author = {Alves, Marcus Vinicius and Rodrigues, Sérgio Gasques and Basmaji, Pierre and Marega Junior, Euclydes}, year = {1998}, publisher = {Sociedade Brasileira de Física}, booktitle = {Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada} }