@inproceedings{inproceedingsec33c436,
title   = {Processo de deposição por PECVD: influência dos íons},
author = {Cardoso, A R and Silva, Maria Lucia Pereira da},
year = {1997},
publisher = {SBMICRO/EFEI},
booktitle   = {Conference of the Brazilian Microelectronics Society}
}