@inproceedings{inproceedings87514a6d,
title   = {Caracterização de camadas de alta resistividade no silício obtidas por implantação iônica. (em CD-Rom)},
author = {Peres, Henrique Estanislau Maldonado and Ramírez Fernandez, Francisco Javier},
year = {1997},
publisher = {SBMICRO/EFEI},
booktitle   = {Conference of the Brazilian Microelectronics Society}
}