@inproceedings{inproceedings5b883335, title = {Análise de óxido de silício: identificação de compostos carbônicos. (em CD-Rom)}, author = {Silva, Maria Lucia Pereira da and Cardoso, A R}, year = {1997}, publisher = {SBMICRO/EFEI}, booktitle = {Conference of the Brazilian Microelectronics Society} }