@inproceedings{inproceedings9c20945e,
title   = {Efeito da energia de ions de oxigenio na formacao de filmes finos de oxido de zirconio com metodo de ion and vapor deposition},
author = {Matsuoka, Masao and Isotani, Sadao and Chubaci, José Fernando Diniz and Watanabe, Shigueo and Kuratani, N and Ogata, K and Setsuhara, Y and Miyake, S},
year = {1995},
publisher = {Sociedade Brasileira de Fisica},
booktitle   = {Encontro Nacional de Fisica da Materia Condensada}
}