@inproceedings{inproceedingsff28da3d, title = {Sobre a formacao de filmes finos de nitreto de carbono}, author = {Chubaci, José Fernando Diniz and Watanabe, Shigueo and Ogata, K and Ebe, A and Fujimoto, F and Biersack, J. P.}, year = {1995}, publisher = {Sociedade Brasileira de Fisica}, booktitle = {Encontro Nacional de Fisica da Materia Condensada} }