@inproceedings{inproceedingse6e78fcf,
title   = {Construcao de um porta amostras com recursos para controle da temperatura e aplicacao de bias num sistema cvd a plasma de microondas},
author = {Mammana, V P and Degasperi, F T and Martins, O G and Salvadori, Maria Cecília Barbosa da Silveira},
year = {1995},
publisher = {Sociedade Brasileira de Fisica},
booktitle   = {Encontro Nacional de Fisica da Materia Condensada}
}