@inproceedings{inproceedings47e7d75d, title = {Polimento de substrato para deposicao de filmes de diamante}, author = {Meza, V A and Salvadori, Maria Cecília Barbosa da Silveira}, year = {1995}, publisher = {USP}, booktitle = {Simpósio de Iniciação Científica da Universidade de São Paulo} }