@inproceedings{inproceedings1b955ae9, title = {Programa didatico para o estudo de capacitores mos na caracterizacao de processos}, author = {Kimura, G W F and Sonnenberg, Victor and Martino, João Antonio}, year = {1995}, publisher = {Copel}, booktitle = {Seminario Brasileiro de Caracterizacao em Microeletronica} }