@article{article0d7e1ebe,
title   = {Deposicao de nitreto de silicio por lpcvd},
author = {Zambom, Luís da Silva and Hasenack, Claus Martin},
year = {1995},
journal   = {Boletim Tecnico da Escola Politecnica da Usp. Departamento de Engenharia Metalurgica e de Materiais}
}