@inproceedings{inproceedings00be3d57,
title   = {Medida da rugosidade superficial por espalhamento de luz de laminas de silicio apos diferentes processos de oxidacao termica},
author = {Souza Filho, J C and Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Hasenack, Claus Martin},
year = {1995},
publisher = {Usp},
booktitle   = {Simposio de Iniciacao Cientifica da Universidade de São Paulo}
}