@inproceedings{inproceedings0f29313e,
title   = {Simulacao numerica da evolucao da rugosidade da interface 'SI'-'SI''O IND.2' sob processo de oxidacao termica de silicio},
author = {Araes, L G and Hasenack, Claus Martin},
year = {1995},
publisher = {USP},
booktitle   = {Simposio de Iniciacao Cientifica da Universidade de São Paulo}
}