@inproceedings{inproceedingseb1c5ea1,
title   = {Determinacao de parametros de processo para fotomascara 'BALZERS'},
author = {Seki, Jorge and Pereira, Jose Augusto de Alencar Mendes and Saito, Megumi},
year = {1994},
publisher = {Sbmicro/Ufrj},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}