@inproceedings{inproceedingse7d5268a,
title   = {Presilha eletrostatica para camadas em sistemas de deposicao cvd},
author = {Bonfim, M J C and Okura, J H and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1994},
publisher = {Sbmicro/Ufrj},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}