@inproceedings{inproceedings3f8c0feb,
title   = {Construcao e caracterizacao inicial de um medidor de rugosidade quimica de superficies de silicio empregando espalhamento espectral de luz},
author = {Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Hasenack, Claus Martin},
year = {1992},
publisher = {Sbmicro/Epusp},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}