@inproceedings{inproceedings4c5a569a,
title   = {Decapagem de fotorresiste por plasma de 02 e sf6 e a sua aplicacao no processo de fabricacao de air bridge},
author = {Yoshioka, R T and Tatsch, P J and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1994},
publisher = {Sbmicro/Ufrj},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}