@inproceedings{inproceedings07050d9a, title = {Estudo da formacao do disiliceto de cobalto em duas etapas termicas}, author = {Simões, Eliphas Wagner and Furlan, Rogério}, year = {1994}, publisher = {Sbmicro/Ufrj}, booktitle = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica} }