@inproceedings{inproceedings581cd9a4, title = {Desenvolvimento de um processo de corrosao de aluminio por plasma de cc14+n2}, author = {Mansano, Ronaldo Domingues and Verdonck, Patrick Bernard}, year = {1994}, publisher = {Sbmicro/Ufrj}, booktitle = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica} }