@inproceedings{inproceedings925cf1b8,
title   = {Formação de siliceto de titânio em ambiente de nitrogênio},
author = {Laganá, Armando Antonio Maria and Silva, Ana Neilde Rodrigues da and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1994},
publisher = {Sbmicro/UFRJ},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica}
}