@inproceedings{inproceedings351f6cad,
title   = {Camada de alta resistividade no silicio obtida por implantacao de protons com baixa energia},
author = {Peres, Henrique Estanislau Maldonado and Perez Lisboa, Mauricio Oscar and Ramírez Fernandez, Francisco Javier},
year = {1993},
publisher = {Sbmicro},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}