@inproceedings{inproceedings7f2820da, title = {Influencia da umidade e recozimento no comportamento do silicio poroso}, author = {Salcedo, Walter Jaimes and Ramírez Fernandez, Francisco Javier}, year = {1993}, publisher = {Sbmicro}, booktitle = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica} }