@inproceedings{inproceedings5e019b98,
title   = {Estudo da formação do siliceto de titânio sobre silicio policristalino},
author = {Silva, Ana Neilde Rodrigues da and Furlan, Rogério},
year = {1993},
publisher = {Sbmicro},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica}
}