@inproceedings{inproceedings98b420f5,
title   = {Medida da rugosidade superficial de laminas de silicio empregando a tecnica de espalhamento elastico de luz laser hene},
author = {Souza Filho, J C and Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Hasenack, Claus Martin},
year = {1993},
publisher = {Sbmicro},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}