@inproceedings{inproceedings67fc34fa,
title   = {Autoalinhamento de microestruturas em silicio},
author = {Tubor, A and Ramírez Fernandez, Francisco Javier},
year = {1992},
publisher = {Cetepe},
booktitle   = {Congresso de Iniciacao Cientifica e Tecnologica em Engenharia}
}