@inproceedings{inproceedings98d4890e,
title   = {Estudo da influencia da taxa de subida de temperatura sobre a rugosidade do siliceto de titanio formado por rtp},
author = {Laganá, Armando Antonio Maria and Valente, M C and Pedrine, A G and Souza Filho, J C and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1993},
publisher = {Sbmicro},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}