@inproceedings{inproceedings997d96ca,
title   = {Deposicao e caracterizacao de silicio policristalino depositado por lpcvd a partir de silana},
author = {Pedrine, A G and Hasenack, Claus Martin and Lopes, M C V},
year = {1993},
publisher = {Sbmicro},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}