@inproceedings{inproceedingsd6a8fa25,
title   = {Silicetos de titanio e de cobalto como fonte de arsenio},
author = {Oka, Mauricio Massazumi and Furlan, Rogério},
year = {1993},
publisher = {Sbmicro},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}