@inproceedings{inproceedings7f009050, title = {Efeitos dos parametros de deposicao sobre a qualidade de multicamadas de a-'SI': h / a- 'SI ANTPOT.1-X' 'C ANTPOT.X' : h}, author = {Velasquez, E L Z and Fantini, Márcia Carvalho de Abreu and Páez Carreño, Marcelo Nelson and Pereyra, Inés and Takahashi, H. and Landers, R.}, year = {1992}, publisher = {Sociedade Brasileira de Fisica}, booktitle = {Encontro Nacional de Fisica da Materia Condensada} }