@inproceedings{inproceedingsabcfcaa1,
title   = {Chemical etching of tungsten with nf3 - 02 plasmas},
author = {Verdonck, Patrick Bernard and Brasseur, G and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1992},
publisher = {Unicamp},
booktitle   = {Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na Ciência}
}