@inproceedings{inproceedings214dd62d,
title   = {Desenvolvimento de um sistema integrado multicamara para a deposicao de 'SI''O IND.2' dopados ou nao com boro e / ou fosforo por r / pecvd},
author = {Silva, Maria Lucia Pereira da and Shibata, Newton Yoshiyuki and Escote, Adolfo Tsuyama and Matsumura, W T and Oliveira, Elisabeth de and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1992},
publisher = {Unicamp},
booktitle   = {Congresso Brasileiro de Aplicacoes de Vacuo Na Industria e Na Ciencia}
}