@inproceedings{inproceedingsc096ddb7,
title   = {Corrosao de trincheiras em silicio com plasma de c'BR''F IND.3'},
author = {Yamamoto, R K and Maciel, H. S.},
year = {1992},
publisher = {Sbmicro/Epusp},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}