@inproceedings{inproceedings27555371,
title   = {Estudo da cinética de formação do 'TI''SI IND.2' fase c49 sobre silício monocristalino},
author = {Laganá, Armando Antonio Maria and Silva, Ana Neilde Rodrigues da},
year = {1992},
publisher = {Sbmicro/EPUSP},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica}
}