@inproceedings{inproceedings21e92ba4, title = {Estudo por microscopia eletronica de transmissao (met) do recozimento de defeitos residuais em camadas de silicio recristalizadas}, author = {Santos, J T and Hasenack, Claus Martin and Monteiro, Waldemar Alfredo}, year = {1991}, publisher = {Sbme}, booktitle = {Coloquio da Sociedade Brasileira de Microscopia Eletronica} }