@inproceedings{inproceedings5726d081,
title   = {Estudo da taxa de corrosao por nitreto de silicio pecvd em plasma de sf6},
author = {Almeida, F R and Yamamoto, R K and Maciel, H. S.},
year = {1991},
publisher = {Sbmicro/Ufmg},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}