@inproceedings{inproceedings9fcd4e6c,
title   = {Estudo da influencia da potencia de rf aplicada ao catodo em filmes finos de titanio e cobalto depositados por sputtering},
author = {Rotondaro, Antônio Luís Pacheco and Maciel, H. S.},
year = {1991},
publisher = {Sbmicro/Ufmg},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}