@inproceedings{inproceedings5a5ce9a9,
title   = {Corrosao anisotropica de silicio com plasma de cbrf3 para obtencao de trincheiras},
author = {Yamamoto, R K and Maciel, H. S.},
year = {1991},
publisher = {Sbmicro/Ufmg},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}