@inproceedings{inproceedings60c6770e,
title   = {Estudo do crescimento lateral do siliceto de 'CO' formado por rtr (recozimento termico rapido)},
author = {Oka, Mauricio Massazumi and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1991},
publisher = {Sbmicro/Ufmg},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}