@inproceedings{inproceedings8d624dd3,
title   = {Analise da influencia de impurezas em filmes de 'CO' na formacao do siliceto},
author = {Freitas, W J and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1990},
publisher = {Sbmicro/Spie},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}