@inproceedings{inproceedings664ee579,
title   = {Obtenção de contato ôhmico sobre junções rasas em Si, utilizando siliceto de Ti e TiW entre substrato e Al},
author = {Furlan, Rogério and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1990},
publisher = {Ipen/Cnen-Sp/Dema-Ufscar},
booktitle   = {Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciencia dos Materiais}
}