@inproceedings{inproceedingsec71af35,
title   = {Estudo e controle do grau de anisotropia na corrosão a seco de dióxido de silício},
author = {Seabra, Antonio Carlos},
year = {1989},
publisher = {Sbmicro/Ufrgs},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica}
}