@inproceedings{inproceedingsd7c38fe2,
title   = {Otimização da taxa, uniformidade e seletividade na corrosão a seco de filmes de sio2 em plasmas de cf4 e cf+o2},
author = {Seabra, Antonio Carlos and Braz, I C and Rodrigues Neto, C},
year = {1988},
publisher = {Sbmicro/Epusp},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}