@inproceedings{inproceedings3cd417c2,
title   = {Caracterização experimental e análise da formação de filme de siliceto de titanio por técnicas de difração de raios-x},
author = {Morimoto, Nilton Itiro and Swart, Jacobus Willibrordus and Riella, Humberto Gracher},
year = {1988},
publisher = {Sbmicro/Epusp},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica}
}