@inproceedings{inproceedings63ed49fc,
title   = {Formação de siliceto de titanio por rtp em vácuo e verificação da influência do arsênio},
author = {Furlan, Rogério and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1988},
publisher = {Sbmicro/Epusp},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica}
}