@inproceedings{inproceedings74b35d0f, title = {Deposição e caracterização de peliculas e estruturas p-i-n de silicio amorfo hidrogenado}, author = {Pereyra, Inés and Sanematsu, Mário Sabro and Gouvea, R and Andrade, Adnei Melges de}, year = {1985}, publisher = {Lme-Usp}, booktitle = {Simposio Brasileiro de Microeletronica} }