@inproceedings{inproceedings2ed6cc8d,
title   = {Formacao de siliceto de titanio por rtp: visando a estrutura salicide},
author = {Swart, Jacobus Willibrordus and Laganá, Armando Antonio Maria and Morimoto, Nilton Itiro and Furlan, Rogério},
year = {1987},
publisher = {Sbmicro/Epusp},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira Microeletronica}
}