@inproceedings{inproceedings1394e2f8,
title   = {Escoamento de filmes de psg para processamento térmico rápido em ambiente de vácuo},
author = {Santos Filho, Sebastião Gomes dos and Swart, Jacobus Willibrordus},
year = {1987},
publisher = {Sbmicro/Epusp},
booktitle   = {Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica}
}